[实用新型]超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具有效

专利信息
申请号: 201320242746.4 申请日: 2013-05-08
公开(公告)号: CN203330878U 公开(公告)日: 2013-12-11
发明(设计)人: 赵宏伟;崔涛;韩磊;李烁;张文爽;李建平;史成利;刘闯;田野;曲涵 申请(专利权)人: 吉林大学
主分类号: B24B41/06 分类号: B24B41/06;B24B1/04
代理公司: 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 代理人: 王怡敏
地址: 130012 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 实用新型涉及一种超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具,属于精密、超精密加工领域。包括超声波发生器、压电陶瓷换能器、锥形变幅杆、工件夹持系统以及修整环,所述超声波发生器将交流电转换成超声频电振荡信号,通过集电环传递到压电陶瓷换能器。压电陶瓷换能器将超声频电振荡信号转换成超声频机械振动。锥形变幅杆将换能器输出的小振幅放大后传递给工件夹持系统,从而实现超精密研磨/抛光过程中工件的超声波振动。优点在于:结构紧凑,操作简单,效率高,适用性强。能够显著地提高工件的加工精度和表面质量,还能够改善研磨/抛光条件,例如降低切削力、减少切削热、消除或抑制振动,提高研磨盘和抛光布的耐用度等。
搜索关键词: 超声波 振动 辅助 研磨 抛光 样品 夹具
【主权项】:
一种超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具,包括超声波发生器(18)、压电陶瓷换能器、锥形变幅杆(4)、工件夹持系统以及修整环(9),其特征在于:所述超声波发生器(18)将交流电转换成超声频电振荡信号,通过集电环将超声频电振荡信号传递到由压电陶瓷换能器后盖板(1)、堆叠压电陶瓷片(2)、压电陶瓷换能器前盖板(3)组成的压电陶瓷换能器,压电陶瓷换能器将超声频电振荡信号转换成超声频机械振动;所述锥形变幅杆(4)将压电陶瓷换能器输出的小振幅放大后,传递给由试件粘板(5)及夹持基板(8)组成的工件夹持系统,使被加工工件产生超声振动,以实现超声振动辅助研磨/抛光。
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