[实用新型]超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具

权利要求书

1.一种超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具，包括超声波发生器（18）、压电陶瓷换能器、锥形变幅杆（4）、工件夹持系统以及修整环（9），其特征在于：所述超声波发生器（18）将交流电转换成超声频电振荡信号，通过集电环将超声频电振荡信号传递到由压电陶瓷换能器后盖板（1）、堆叠压电陶瓷片（2）、压电陶瓷换能器前盖板（3）组成的压电陶瓷换能器，压电陶瓷换能器将超声频电振荡信号转换成超声频机械振动；所述锥形变幅杆（4）将压电陶瓷换能器输出的小振幅放大后，传递给由试件粘板（5）及夹持基板（8）组成的工件夹持系统，使被加工工件产生超声振动，以实现超声振动辅助研磨/抛光。

2.根据权利要求1所述的超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具，其特征在于：所述的集电环由定子（16）和转子（17）组成，所述转子（17）通过锁紧螺钉与套筒（14）上端固定，转子（17）出线与所述的堆叠压电陶瓷片（2）连接，定子（16）通过止转片与摇臂（19）上的固定杆（20）固定，定子（16）出线与超声波发生器（18）连接，为旋转过程中的压电陶瓷换能器提供超声频电振荡信号。

3.根据权利要求1所述的超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具，其特征在于：所述的试件粘板（5）通过锁紧螺钉（6）夹持在夹持基板（8）上，所述夹持基板（8）通过紧固螺钉Ⅰ（7）与锥形变幅杆（4）连接，夹持基板（8）同时夹持6个试件粘板（5），并且所述试件粘板（5）的形状及尺寸可以调整。

4.根据权利要求1所述的超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具，其特征在于：所述的修整环（9）设置在夹持基板（8）的外侧，与研磨盘接触的表面均匀分布有12个沟槽。

5.根据权利要求1所述的超声波振动辅助研磨/抛光的试件样品夹具，其特征在于：所述的压电陶瓷换能器后盖板（1）、堆叠压电陶瓷片（2）、压电陶瓷换能器前盖板（3）通过紧固螺钉Ⅲ（15）与锥形变幅杆（4）连接，所述锥形变幅杆（4）、套筒（14）及支撑板（10）通过紧固螺钉Ⅱ（11）连接，所述支撑板（10）上设有相互配合的支撑杆（13）和连接螺母（12）。