[实用新型]一种真空计冷规保护装置有效
| 申请号： | 201320241896.3 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN203247339U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 黄小卫;付豪;赵慧彬;杨敏;李涛 | 申请（专利权）人： | 福建鑫晶精密刚玉科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种真空计冷规保护装置，安装于晶体生长炉炉体真空感应出气口内，包括有若干沿出气口出气方向排列的滤片，以及固定该若干滤片且使其间隔排列的固定件，滤片上设有至少一出气孔。本实用新型的真空计冷规保护装置，采用铜质滤片能阻挡高温下产生的氧化物质，从而使晶体生长过程中，冷规对真空度的感应更加灵敏，且在操作过程中，能更准确地读取真空值，以有效地保护晶体生长质量，延长冷规的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空计 保护装置 | ||
【主权项】：
一种真空计冷规保护装置，安装于晶体生长炉炉体真空感应出气口内，其特征在于：包括有若干沿出气口出气方向排列的滤片，以及固定该若干滤片且使其间隔排列的固定件，滤片上设有至少一出气孔。
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