[实用新型]一种真空计冷规保护装置有效
| 申请号： | 201320241896.3 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN203247339U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 黄小卫;付豪;赵慧彬;杨敏;李涛 | 申请（专利权）人： | 福建鑫晶精密刚玉科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠 |
| 地址： | 364000 福建省龙岩市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空计 保护装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空计冷规保护装置，安装于晶体生长炉炉体真空感应出气口内，其特征在于：包括有若干沿出气口出气方向排列的滤片，以及固定该若干滤片且使其间隔排列的固定件，滤片上设有至少一出气孔。
2.如权利要求1所述的一种真空计冷规保护装置，其特征在于：所述滤片为铜质滤片。
3.如权利要求1所述的一种真空计冷规保护装置，其特征在于：所述出气口的进气端设有所述滤片，出气端设有所述冷规。
4.如权利要求1所述的一种真空计冷规保护装置，其特征在于：所述滤片为纵向平行间隔排列。
5.如权利要求1所述的一种真空计冷规保护装置，其特征在于：所述固定件为螺栓，所述出气口的进气端对应设有螺纹孔。
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