[实用新型]一种光刻机硅片台微动工作台

摘要

一种光刻机硅片台微动工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本实用新型包含有基座、微动工作台动子、微动工作台定子、四个第一种洛伦兹电机和四个第二种洛伦兹电机；四个第一种洛伦兹电机布置在微动工作台的四边并关于原点对称，驱动微动台沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转方向运动；四个第二种洛伦兹电机分别布置在X轴和Y轴上，并对称分布在四组第一种洛伦兹电机外侧，驱动微动台沿Z方向、绕X轴旋转方向和绕Y轴旋转方向运动。另外该微动工作台还含有闭合磁路的重力补偿结构。本实用新型与现有技术相比，具有电机种类少、装配简单、结构紧凑、质心驱动和微动台动子惯量小等特点。

主权项

一种光刻机硅片台微动工作台，含有基座（1），微动工作台动子，微动工作台定子，其特征在于：该微动工作台还包括第一种洛伦兹电机和第二种洛伦兹电机；所述的第一种洛伦兹电机实现在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的三个自由度运动；所述的第二种洛伦兹电机实现沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的三个自由度运动；所述的第一种洛伦兹电机采用四个，呈方形布置，且该种电机的线圈在水平面内出力；所述第二种洛伦兹电机采用四个，第二种洛伦兹电机分别对应布置在每个第一种洛伦兹电机外侧，呈方形布置，且该种电机的线圈沿竖直方向出力；四个第一种洛伦兹电机的永磁体、轭铁和永磁体骨架以及四个第二种洛伦兹电机的永磁体、轭铁和永磁体骨架共同组成微动工作台的动子部分；四个第一种洛伦兹电机和四个第二种洛伦兹电机的线圈和线圈骨架以及微动台基座共同组成微动工作台的定子部分。