[实用新型]真空室抽气用的片式节流阀有效
| 申请号： | 201320142601.7 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212642U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。本真空室抽气用的片式节流阀与传统的多片式节流阀相比较，其挡板结构相对简单，制作方便，挡板使用时其密封性能较好，可有效保障真空室内的真空度；另外，采用电机和蜗轮蜗杆组件作为挡板的旋转驱动机构，通过旋转轴及其轴套带动挡板旋转，使用时只要调整电机的输入参数即可精确调节挡板的旋转角度，使用方便，节流阀的开度也可以得到精确的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 室抽气用 节流阀 | ||
【主权项】：
真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，其特征在于，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。
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