[实用新型]真空室抽气用的片式节流阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃镀膜设备领域，特别涉及一种真空室抽气用的片式节流阀。

背景技术

对真空镀膜机的真空室进行抽真空时，一般通过设于真空室出口与精抽阀之间的节流阀外接抽真空机构进行。目前常用的节流阀一般为多片式节流阀，即节流阀由多片节流板排列组成（类似百叶窗结构），通过控制各节流板的开闭来控制气体的流动。该结构所占的空间较小，但节流阀的开度难以得到精确的控制；同时，由于组成节流阀的节流板数量较多，使得节流阀关闭时其密闭性较差，容易对真空室内的真空度产生影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种开度容易控制的真空室抽气用的片式节流阀，该节流阀的使用可有效提高真空室内的真空度。

本实用新型的技术方案为：一种真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。

所述旋转轴设于轴套内，轴套上设有多个螺栓孔，在各螺栓孔处通过螺栓将轴套与挡板锁紧连接。

所述挡板的旋转角度为0～90°。

所述挡板包括旋转板和两个侧板，旋转轴通过轴套设于旋转板的横向中心线上，两个侧板分别设于旋转板的上下两侧，各侧板分别与旋转板垂直连接。当挡板处于关闭状态时，两个侧板分别贴紧于真空室的内壁上。

所述旋转驱动机构包括电机和蜗轮蜗杆组件，电机固定于真空室的外侧壁上，电机通过蜗轮蜗杆组件与旋转轴一端连接，电机与旋转轴相互垂直设置。电机通过蜗轮蜗杆组件驱动旋转轴转动，旋转轴的转动带动挡板转动，同时蜗轮蜗杆组件可实现自锁，防止挡板复位。

本真空室抽气用的片式节流阀使用时，其原理是：旋转驱动机构中，电机通过蜗轮蜗杆组件驱动旋转轴转动，旋转轴的转动带动挡板转动；该过程中，通过调整电机的输入参数，即可精确调节挡板的旋转角度，当挡板转动至所需角度时，通过蜗轮蜗杆的自锁功能将挡板锁紧于相应的位置上，防止挡板复位；另外，挡板为一体式的片状结构，所以当挡板关闭（即挡板旋转90°）时，挡板上的两个侧板分别贴紧真空室内壁，其密封效果较好。

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

本真空室抽气用的片式节流阀与传统的多片式节流阀相比较，其挡板结构相对简单，制作方便，挡板使用时其密封性能较好，可有效保障真空室内的真空度。

本真空室抽气用的片式节流阀采用电机和蜗轮蜗杆组件作为挡板的旋转驱动机构，通过旋转轴及其轴套带动挡板旋转，使用时只要调整电机的输入参数即可精确调节挡板的旋转角度，使用方便，节流阀的开度也可以得到精确的控制。

附图说明

图1为真空室抽气用的片式节流阀的结构示意图。

图2为图1的A向视图。

图3为图1的B局部放大图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例

本实施例一种真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，其结构如图1或图2所示，包括挡板1、旋转轴2和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套3与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。

旋转轴设于轴套内，轴套上设有多个螺栓孔，在各螺栓孔处通过螺栓将轴套与挡板锁紧连接。

挡板的旋转角度为0～90°。

如图2所示，挡板1包括旋转板1-1和两个侧板1-2，旋转轴通过轴套设于旋转板的横向中心线上，两个侧板分别设于旋转板的上下两侧，各侧板分别与旋转板垂直连接。当挡板处于关闭状态时，两个侧板分别贴紧于真空室4的内壁上。

如图3所示，旋转驱动机构包括电机5和蜗轮蜗杆组件6，电机固定于真空室的外侧壁上，电机通过蜗轮蜗杆组件与旋转轴一端连接，电机与旋转轴相互垂直设置。电机通过蜗轮蜗杆组件驱动旋转轴转动，旋转轴的转动带动挡板转动，同时蜗轮蜗杆组件可实现自锁，防止挡板复位。

本真空室抽气用的片式节流阀使用时，其原理是：旋转驱动机构中，电机通过蜗轮蜗杆组件驱动旋转轴转动，旋转轴的转动带动挡板转动；该过程中，通过调整电机的输入参数，即可精确调节挡板的旋转角度，当挡板转动至所需角度时，通过蜗轮蜗杆的自锁功能将挡板锁紧于相应的位置上，防止挡板复位；另外，挡板为一体式的片状结构，所以当挡板关闭（即挡板旋转90°）时，挡板上的两个侧板分别贴紧真空室内壁，其密封效果较好。

如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。