[实用新型]真空室抽气用的片式节流阀

权利要求书

1.真空室抽气用的片式节流阀，设于真空室出口与精抽阀之间，其特征在于，包括挡板、旋转轴和旋转驱动机构，旋转轴横向设于挡板中部并通过轴套与挡板固定连接，旋转轴一端与旋转驱动机构连接。

2.根据权利要求1所述真空室抽气用的片式节流阀，其特征在于，所述旋转轴设于轴套内，轴套上设有多个螺栓孔，在各螺栓孔处通过螺栓将轴套与挡板锁紧连接。

3.根据权利要求1所述真空室抽气用的片式节流阀，其特征在于，所述挡板的旋转角度为0～90°。

4.根据权利要求1所述真空室抽气用的片式节流阀，其特征在于，所述挡板包括旋转板和两个侧板，旋转轴通过轴套设于旋转板的横向中心线上，两个侧板分别设于旋转板的上下两侧，各侧板分别与旋转板垂直连接。

5.根据权利要求1所述真空室抽气用的片式节流阀，其特征在于，所述旋转驱动机构包括电机和蜗轮蜗杆组件，电机固定于真空室的外侧壁上，电机通过蜗轮蜗杆组件与旋转轴一端连接，电机与旋转轴相互垂直设置。