[实用新型]镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构有效
| 申请号： | 201320142273.0 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212640U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，包括阀体和多个相互独立的挡板阀，各挡板阀分别设于阀体内，阀体底部设有多个连接口，每个挡板阀对应一个连接口，各连接口分别外接镀膜机的真空室，阀体侧壁设有外接分子泵的抽气口。本镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构是在传统高真空挡板阀的基础上进行改进的，实现一个分子泵配合多个挡板阀使用，简化设备结构，降低真空镀膜机的制造成本；同时，将多个挡板阀设于同一阀体内，其结构紧凑而简单，可有效节约设备的占地面积。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 真空 多位一 体式 挡板 机构 | ||
【主权项】：
镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，其特征在于，包括阀体和多个相互独立的挡板阀，各挡板阀分别设于阀体内，阀体底部设有多个连接口，每个挡板阀对应一个连接口，各连接口分别外接镀膜机的真空室，阀体侧壁设有外接分子泵的抽气口。
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