[实用新型]镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃镀膜设备领域，特别涉及一种镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构。

背景技术

对真空镀膜机的真空室进行抽真空时，一般采用分子泵进行，分子泵与真空室之间通过高真空挡板阀连接。目前的真空镀膜机中，分子泵与高真空挡板阀之间一般采用一对一的连接方式，即每个高真空挡板阀必须配备一台分子泵进行使用，这就加大了真空镀膜机的设备成本，同时，每台真空镀膜机必须配备多台分子泵，各分子泵与真空挡板阀分散设置，加大了真空镀膜机的总体积，设备占地面积较大，不利于生产成本的控制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑，使用方便的镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构。

本实用新型的技术方案为：一种镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，包括阀体和多个相互独立的挡板阀，各挡板阀分别设于阀体内，阀体底部设有多个连接口，每个挡板阀对应一个连接口，各连接口分别外接镀膜机的真空室，阀体侧壁设有外接分子泵的抽气口。

所述各挡板阀结构相同，包括气缸、盖板和上盖件，气缸通过上盖件固定于阀体顶部，盖板设于阀体内并与气缸的输出端连接；当挡板阀处于关闭状态时，盖板下压与连接口相接。

所述挡板阀有5个，呈两列交错分布，即任意相邻的3个挡板阀中心组成等腰三角形；阀体截面为带圆角的梯形，阀体侧壁包于各挡板阀外周。阀体结构配合各挡板阀的组成方式而设，可使高真空挡板阀机构的结构更紧凑。

本镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构使用时，将阀体的各连接口分别与对应的真空室连接（根据不同大小真空室的实际需要，多个连接口可连接同一真空室，也可分别连接不同的真空室），将抽气口与分子泵连接，根据镀膜机的实际情况，各挡板阀分别通过其气缸调节盖板的位置，从而实现各挡板阀的启闭状态调节；然后通过分子泵对各真空室进行抽真空即可。

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

本镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构是在传统高真空挡板阀的基础上进行改进的，实现一个分子泵配合多个挡板阀使用，简化设备结构，降低真空镀膜机的制造成本；同时，将多个挡板阀设于同一阀体内，其结构紧凑而简单，可有效节约设备的占地面积。

附图说明

图1为本多位一体式高真空挡板阀机构中各挡板阀均处于关闭状态时的结构示意图。

图2图1的A向视图。

图3为本多位一体式高真空挡板阀机构中各挡板阀均处于开启状态时的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例

本实施例一种镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，如图1或图2所示，包括阀体1和多个相互独立的挡板阀2，各挡板阀分别设于阀体内，如图1所示，阀体底部设有多个连接口3，每个挡板阀对应一个连接口，各连接口分别外接镀膜机的真空室，阀体侧壁设有外接分子泵的抽气口4。

如图1所示，各挡板阀结构相同，包括气缸2-1、盖板2-2和上盖件2-3，气缸通过上盖件固定于阀体顶部，盖板设于阀体内并与气缸的输出端连接；当挡板阀处于关闭状态时，盖板下压与连接口相接。

本实施例作为一种优选方案，如图2所示，挡板阀有5个，呈两列交错分布，即任意相邻的3个挡板阀中心组成等腰三角形；阀体截面为带圆角的梯形，阀体侧壁包于各挡板阀外周。阀体结构配合各挡板阀的组成方式而设，可使高真空挡板阀机构的结构更紧凑，经实验证明，挡板阀的个数设为5个也是较为合适的。

本镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构使用时，将阀体的各连接口分别与对应的真空室连接（根据不同大小真空室的实际需要，多个连接口可连接同一真空室，也可分别连接不同的真空室），将抽气口与分子泵连接，根据镀膜机的实际情况，各挡板阀分别通过其气缸调节盖板的位置，从而实现各挡板阀的启闭状态调节；然后通过分子泵对各真空室进行抽真空即可。当各挡板阀均处于关闭状态时，高真空挡板阀机构的结构如图1所示；当各挡板阀均处于开启状态时，高真空挡板阀机构的结构如图3所示。

如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。