[实用新型]镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构

权利要求书

1.镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，其特征在于，包括阀体和多个相互独立的挡板阀，各挡板阀分别设于阀体内，阀体底部设有多个连接口，每个挡板阀对应一个连接口，各连接口分别外接镀膜机的真空室，阀体侧壁设有外接分子泵的抽气口。

2.根据权利要求1所述镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，其特征在于，所述各挡板阀结构相同，包括气缸、盖板和上盖件，气缸通过上盖件固定于阀体顶部，盖板设于阀体内并与气缸的输出端连接；当挡板阀处于关闭状态时，盖板下压与连接口相接。

3.根据权利要求1所述镀膜机抽真空用的多位一体式高真空挡板阀机构，其特征在于，所述挡板阀有5个，呈两列交错分布；阀体截面为带圆角的梯形，阀体侧壁包于各挡板阀外周。