[实用新型]半导体器件有效
申请号: | 201320118464.3 | 申请日: | 2013-03-15 |
公开(公告)号: | CN203242637U | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | R.西米尼克;F.希尔勒;O.布兰克 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技奥地利有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/739;H01L29/06 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 曲宝壮;李浩 |
地址: | 奥地利*** | 国省代码: | 奥地利;AT |
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摘要: | 本实用新型提供了一种半导体器件,包括第一导电类型的漂移层(4);在所述漂移层(4)上的第二导电类型的体区(7);在所述体区(7)上的第一导电类型的源区(8);穿过源区(8)、体区(7)延伸进入漂移层(4)的沟槽结构(9),所述沟槽结构(9)包括至少一个栅电极(12)和绝缘结构(10),其中,所述绝缘结构(10)的一部分在体区(7)下面延伸,其中,所述漂移层(4)、源区(8)和体区(7)中的至少一个包括缺陷化的半导体材料。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 | ||
【主权项】:
一种半导体器件,包括:第一导电类型的漂移层(4);在所述漂移层(4)上的第二导电类型的体区(7);在所述体区(7)上的第一导电类型的源区(8);穿过源区(8)、体区(7)延伸进入漂移层(4)的沟槽结构(9),所述沟槽结构包括至少一个栅电极(12)和绝缘结构(10),其中,所述绝缘结构(10)的一部分在体区(7)下面延伸,其中,所述漂移层(4)、源区(8)和体区(7)中的至少一个包括缺陷化的半导体材料。
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