[实用新型]一种扩散炉有效
| 申请号： | 201320058086.4 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN203159745U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 樊坤;刘良玉;禹庆荣;杨彬;张宝锋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/16 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种扩散炉，包括加热炉、净化台和置于加热炉与净化台之间的废气排气室，所述废气排气室内设有用于清洁进入废气排气室内硅片的吹扫机构。该扩散炉能够全方位吹扫掉硅片上的粉尘，有效地提高扩散炉的扩散工艺，从而提高太阳能电池的光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 | ||
【主权项】：
一种扩散炉，包括加热炉（1）、净化台（8）和置于加热炉（1）与净化台（8）之间的废气排气室（7），其特征是，所述废气排气室（7）内设有用于清洁进入废气排气室（7）内的硅片（4）的吹扫机构。
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