[实用新型]一种扩散炉有效
| 申请号： | 201320058086.4 | 申请日： | 2013-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN203159745U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 樊坤;刘良玉;禹庆荣;杨彬;张宝锋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/16 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 | ||
【权利要求书】：
1. 一种扩散炉，包括加热炉（1）、净化台（8）和置于加热炉（1）与净化台（8）之间的废气排气室（7），其特征是，所述废气排气室（7）内设有用于清洁进入废气排气室（7）内的硅片（4）的吹扫机构。
2.根据权利要求1所述扩散炉，其特征是，所述吹扫机构包括一端连接送气单元的螺旋状圆形管体（5），并在靠近硅片（4）的圆形管体（5）外壁上开有多个孔（6）。
3.根据权利要求2所述扩散炉，其特征是，所述排气室（7）内设有抽气机构。
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