[实用新型]一种全自动晶粒检测分选一体设备

摘要

本申请公开了一种全自动晶粒检测分选一体设备，本设备由晶圆工作台、分选工作台、检测工作台、运输传送系统、晶圆工作台推送装置、分选工作台推送装置、检测工作台推送装置、摆臂机构、芯片分选料库，上述九个主要部分组成。本申请改善了现有技术中的传统布局与机械结构，通过运输传送系统和推送装置将盘片在工作台和芯片分选料库之间自如进出进行相应盘片的取放，同步实现了晶粒的检测和分选，同时运输传送系统具有两个缓冲区位置，能够减少待分选盘片与分选结束后的盘片以及待检测盘片与检测结束后的盘片之间的交换时间，进而加快晶粒分选和检测时间和效率。具有换片高效、整机小巧、结构紧凑、整机稳定性好、芯片分选料库可扩容性好的特点。

主权项

一种全自动晶粒检测分选一体设备，包括有机体平台，其特征在于，所述机体平台上设置有：三个工作台，分别为晶圆工作台、分选工作台和检测工作台，晶圆工作台和分选工作台用于承载盘片进行晶粒分选，检测工作台用于承载盘片进行晶粒检测；摆臂机构，通过其对晶圆工作台以及分选工作台上的盘片进行分选；芯片分选料库，其用于存放装载有盘片的卡匣；运输传送系统，其可沿X轴、Y轴和Z轴方向运动，所述运输传送系统具有两个缓冲区位置，通过所述运输传送系统从所述芯片分选料库中对应的位置取出待分选或者待检测的盘片放置第一缓冲区位置等候，将位于第二缓冲区位置的经过分选或者检测的需要放回至芯片分选料库的盘片放回至芯片分选料库中指定位置；三个推送装置，分别为晶圆工作台推送装置、分选工作台推送装置和检测工作台推送装置，其用于将三个工作台上的盘片推送至运输传送系统上或者将运输传送系统上的盘片取放至三个工作台上；所述芯片分选料库设置于所述机体平台的一侧，所述晶圆工作台、所述分选工作台、所述检测工作台以及所述三个推送装置组成的分选工作区设置于所述机体平台上位于与所述芯片分选料库相对的另一侧，所述运输传送系统横置于所述芯片分选料库和所述分选工作区之间，所述晶圆工作台和所述分选工作台分别设置于所述摆臂机构的两侧，所述检测工作台设置于所述晶圆工作台和所述分选工作台的另一侧；相对应地，所述晶圆工作台与所述晶圆工作台推送装置配合以实现盘片从所述运输传送系统的取放；所述分选工作台与所述分选工作台推送装置配合以实现盘片从所述运输传送系统的取放；所述检测工作台与所述检测工作台推送装置配合以实现盘片从所述运输传送系统的取放。