[发明专利]一种BOE蚀刻液的制备方法

摘要

本发明公开了一种BOE蚀刻液的制备方法。包括如下步骤：（1）将浓度为49wt％氢氟酸（HF），浓度为30wt％氨水，超纯水依次加入到反应器中，于室温下搅拌反应6-12小时，得到氢氟酸（HF）与氟化铵（NH₄F）的混合物；（2）向步骤（1）所得混合物中依次加入添加剂、烷基硫酸铵盐阴离子表面活性剂，室温下搅拌混合6-18小时，混合均匀后得通明的BOE蚀刻液。本发明所述方法制备的BOE蚀刻液对二氧化硅具有较高的蚀刻选择性，且可明显降低BOE蚀刻液对硅片的接触角。此外，本发明制备方法操作简单，所得BOE蚀刻液杂质含量低。

主权项

一种BOE蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：（1）将浓度为49wt％电子级氢氟酸（HF），浓度为30wt％电子级氨水，超纯水依次加入到反应器中，于室温下搅拌反应6‑12小时，得到氢氟酸（HF）和氟化铵（NH₄F）的混合物（a），所述混合物（a）中氢氟酸（HF）浓度为0.5‑30wt％，氟化铵（NH₄F）浓度为1‑40wt％；（2）待步骤（1）所得混合物（a）冷却至室温，再加入添加剂和烷基硫酸铵盐阴离子表面活性剂，所述的添加剂为脂肪族有机酸（C₂‑C₁₂）、脂肪族有机碱（C₂‑C₁₂）、脂肪族有机醇（C₂‑C₁₂）中的一种或其组合物，得到混合物（b）；（3）将步骤（2）所得混合物（b）于室温下搅拌混合6‑18小时，混合均匀后得到通明的BOE蚀刻液。