[发明专利]真空蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201310743673.1 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103741097A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 匡友元 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 杨林;李友佳 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种真空蒸镀装置，包括真空腔体、设于真空腔体内的蒸镀源以及置于所述蒸镀源上方的固定单元，所述蒸镀源包括加热容器和加热单元，其中，所述加热容器包括从下到上依次设置的材料容器、蒸汽容器以及输出单元，所述材料容器与蒸汽容器之间的第一隔板上设有第一气孔，所述蒸汽容器与输出单元之间的第二隔板上设有第二气孔，所述第一气孔的面积大于所述第二气孔的面积。本发明提供的真空蒸镀装置通过局限材料蒸汽的运动路径、控制材料蒸汽喷射角度范围来减少基板以外不必要区域的材料损耗，从而提高材料的利用率，降低制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种真空蒸镀装置，包括真空腔体、设于真空腔体内的蒸镀源（10）以及设于蒸镀源（10）上方的固定单元，所述蒸镀源（10）包括加热容器和加热单元（140），其特征在于，所述加热容器包括从下到上依次设置的材料容器（110）、蒸汽容器（120）以及输出单元（130），所述材料容器（110）与蒸汽容器（120）之间的第一隔板（112）上设有第一气孔（113），所述蒸汽容器（120）与输出单元（130）之间的第二隔板（122）上设有第二气孔（123），所述第一气孔（113）的面积大于所述第二气孔（123）的面积。
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