[发明专利]用于电容式压力传感器的输出规格校准设备

摘要

本发明提供了一种用于电容式压力传感器的输出规格校准设备。该输出规格校准设备使得能够在出厂时以软件方式调节电容式压力传感器的非线性度、偏移和增益。因此，容易地调节电容式压力传感器的输出规格并由此满足客户的各种需求是可行的。

主权项

一种用于电容式压力传感器的输出规格校准设备，所述输出规格校准设备包括：输出控制电路，其被配置为将由所述电容式压力传感器的主电极形成的电容C_p的电容变化以及由所述电容式压力传感器的参考电极形成的电容C_r的电容变化转换成输出电压并且输出所述输出电压；输出规格校准元件，其被配置为包括至少一个输出规格偏移校准元件、输出规格非线性度调节元件、输出规格增益调节元件和输出规格温度补偿元件，每个元件被配置为调节所述输出控制电路的输出的规格；设置单元，其被配置为设置所述输出规格偏移校准元件、所述输出规格非线性度调节元件和所述输出规格增益调节元件的电气属性值；外部输入接口，其被配置为连接至用于设置所述输出规格偏移校准元件、所述输出规格非线性度调节元件和所述输出规格增益调节元件的电气属性值的外部端子；以及温度补偿电路，其被配置为设置所述输出规格温度补偿元件的电气属性值。