[发明专利]用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法有效
申请号: | 201310721858.2 | 申请日: | 2013-12-24 |
公开(公告)号: | CN103700604A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 刘绍侃;霍俊标;张雪奎 | 申请(专利权)人: | 深圳华远微电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 | 代理人: | 王永文;刘文求 |
地址: | 518125 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法,其测试方法包括:在开启驱动设备时,电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平,使驱动设备与网络分析仪通信;在探针触接被测对象获取测试数据,并将所述测试数据发送给网络分析仪后;由所述网络分析仪对测试数据进行分析,并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试。本发明实现了连续自动测试的功能,在提高了测试系统的自动化程度的同时,提高了工作效率,而且在测试时一键操作即可完成全部测试,基本实现无人操作测试系统,节省了人力成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 测试 表面波 谐振器 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种用于测试声表面波谐振器的测试系统,其特征在于,包括:驱动设备,具有探针,用于与被测对象触接,获取测试数据;阻抗测定仪,用于检测被测对象的阻抗; 网络分析仪,与所述驱动设备通信,用于对所述测试数据进行分析,并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试;电平转换器,用于将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平;所述驱动设备通过所述电平转换装置与所述网络分析仪和阻抗测定仪连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳华远微电科技有限公司,未经深圳华远微电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310721858.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种晶片挑选装置
- 下一篇:基于单片机的GPS定位系统
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造