[发明专利]用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法有效

专利信息
申请号: 201310721858.2 申请日: 2013-12-24
公开(公告)号: CN103700604A 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 刘绍侃;霍俊标;张雪奎 申请(专利权)人: 深圳华远微电科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 深圳市君胜知识产权代理事务所 44268 代理人: 王永文;刘文求
地址: 518125 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了用于测试声表面波谐振器的测试系统及其测试方法,其测试方法包括:在开启驱动设备时,电平转换器将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平,使驱动设备与网络分析仪通信;在探针触接被测对象获取测试数据,并将所述测试数据发送给网络分析仪后;由所述网络分析仪对测试数据进行分析,并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试。本发明实现了连续自动测试的功能,在提高了测试系统的自动化程度的同时,提高了工作效率,而且在测试时一键操作即可完成全部测试,基本实现无人操作测试系统,节省了人力成本。
搜索关键词: 用于 测试 表面波 谐振器 系统 及其 方法
【主权项】:
一种用于测试声表面波谐振器的测试系统,其特征在于,包括:驱动设备,具有探针,用于与被测对象触接,获取测试数据;阻抗测定仪,用于检测被测对象的阻抗; 网络分析仪,与所述驱动设备通信,用于对所述测试数据进行分析,并根据分析结果控制驱动设备进行连续测试、暂停测试或者停止测试;电平转换器,用于将驱动设备的输出电平转换成网络分析仪工作所需电平;所述驱动设备通过所述电平转换装置与所述网络分析仪和阻抗测定仪连接。
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