[发明专利]一种湿法刻蚀设备

摘要

本发明所述的一种湿法刻蚀设备，包括喷射装置、传输轴以及设置在传输轴上的多个滚轮，位于同一根所述传输轴上的多个所述滚轮中，设置在中间的滚轮的直径大于设置于传输轴两侧的各滚轮的直径；本发明所述的湿法刻蚀设备借助薄型基板本身的挠性，通过改变设置在同一传输轴上滚轮的相对直径，即，设置在传输轴中间的滚轮直径大于设置在两侧的滚轮直径，基板传输时，沿垂直于基板的传输方向，基板3的中部在竖直方向上的高度大于其两侧的高度，刻蚀液无法在基板上方堆积，有效提高了刻蚀液的置换率，从而改善刻蚀的均匀性，提高产品的良率。而且，只需要改变滚轮直径就可以实现刻蚀液的置换，设备结构简单，精度要求低，生产效率高、产品良率高。

主权项

一种湿法刻蚀设备，包括喷射装置、多根传输轴以及套合设置在传输轴外壁上的多个滚轮，其特征在于，位于同一根所述传输轴上的多个所述滚轮中，设置在中间的所述滚轮的直径大于设置于所述传输轴两侧的各所述滚轮的直径。