[发明专利]自种子注入双腔结构准分子激光器系统

摘要

本发明公开了一种自种子注入双腔结构准分子激光器系统，包括激光放电腔、激光输出模块、线宽压窄模块和宽带反馈模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，输出激光模式为放电腔中模式竞争取胜的激光模式。其中所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成窄带谐振腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；所述激光放电腔、激光输出模块和宽带反馈模块构成一个宽带谐振腔，用于对模式竞争胜出后的窄带谐振腔模式进行谐振放大输出。本发明不仅可以实现准分子激光器窄线宽的输出，而且可以提高输出激光的能量及稳定性、缩小系统体积、降低系统功耗，同时本发明结构简单，便于加工，调谐方便。

主权项

一种自种子注入双腔结构准分子激光器系统，包括线宽压窄模块、宽带反馈模块、激光放电腔和激光输出模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下通过谐振腔振荡能产生激光；其特征在于：所述线宽压窄模块、激光放电腔和激光输出模块构成窄带谐振腔；所述宽带反馈模块、激光放电腔和激光输出模块构成宽带谐振腔；所述窄带谐振腔用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄，宽带谐振腔用于对模式竞争胜出后的窄带谐振腔模式进行谐振放大输出；所述激光输出模块用于将经线宽压窄且能量放大的激光进行输出；所述宽带谐振腔和所述窄带谐振腔中的激光光路由分束元件一分为二，输出激光的模式为宽带谐振腔和所述窄带谐振腔经过模式竞争后胜出的模式；设窄带谐振腔谐振波长为λi，宽带谐振腔增益介质的增益谱峰值对应峰值波长为λ0，则λi模能抑制λ0模；所述宽带谐振腔的腔长大于所述窄带谐振腔的腔长；所述窄带谐振腔在腔长固定的前提下，可通过调节所述宽带谐振腔的腔长来控制两腔的放电延时，完成宽带谐振腔对窄带谐振腔模式的谐振放大输出。