[发明专利]配向紫外线烘烤装置有效
| 申请号： | 201310711814.1 | 申请日： | 2013-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN103676238A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘小成 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 杨林;李友佳 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供的配向紫外线烘烤装置，包括多个紫外光源和反射板，其中，所述反射板包括正对紫外光源的反射面、相对于所述反射面的背面以及垂直于反射面的侧面，所述反射板还包括设于反射面上的以相对于所述背面具有凹槽的方式形成的第一光学部。本发明提供的配向紫外线烘烤装置，通过在反射板的反射面上设有的第一光学部以及反射板的侧面设有的第二光学部来使紫外光源发出的未照射到基板上的光反射到基板上，从而增加紫外光的利用率，增加紫外光的照度及照射的均匀性，进而缩短照射时间，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外线 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
一种配向紫外线烘烤装置，包括多个紫外光源（300）和反射板（100），所述反射板（100）包括正对紫外光源的反射面，其特征在于，所述反射板（100）还包括设于所述反射面具有凹槽的方式形成的第一光学部。
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