[发明专利]一种多晶硅还原节能生产工艺无效
| 申请号： | 201310692115.7 | 申请日： | 2013-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN103754881A | 公开（公告）日： | 2014-04-30 |
| 发明（设计）人： | 燕军 | 申请（专利权）人： | 内蒙古同远企业管理咨询有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 孙国栋 |
| 地址： | 017300 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 一种多晶硅还原节能生产工艺，涉及一种利用三氯氢硅和氢气还原生产多晶硅的工艺，该工艺是将来自精馏提纯工序的三氯氢硅与来自尾气回收工序的氢气会合到汽化器中，在汽化器中三氯氢硅与氢气按照1：5-10比例汽化，气化后的三氯氢硅与氢气混合蒸汽一路输送给过热器，经过热器加热至300-400℃，进入还原炉A，还原炉A出来的还原尾气与汽化器出来的二路三氯氢硅与氢气混合蒸汽汇集在一起，分别进入还原炉B和还原炉C，从还原炉B和还原炉C出来的尾气会合后进入过热器，从过热器出来的尾气进入尾气冷却器与循环水换热后输送到尾气回收工序；本发明可以回收还原尾气夹带的热量50-80%，每年单台12对棒的还原炉节约电费20-64万元。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 节能 生产工艺 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原节能生产工艺，其特征在于：将来自精馏提纯工序的三氯氢硅与来自尾气回收工序的氢气会合到汽化器中，在汽化器中三氯氢硅与氢气按照1：5‑10比例汽化，气化后的三氯氢硅与氢气混合蒸汽一路输送给过热器，经过热器加热至300‑400℃，进入还原炉A，还原炉A出来的还原尾气与汽化器出来的二路三氯氢硅与氢气混合蒸汽汇集在一起，分别进入还原炉B和还原炉C，从还原炉B和还原炉C出来的尾气会合后进入过热器，从过热器出来的尾气进入尾气冷却器与循环水换热后输送到尾气回收工序。
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