[发明专利]一种GaN基LED外延片及其制备方法在审
申请号: | 201310690576.0 | 申请日: | 2013-12-17 |
公开(公告)号: | CN104716237A | 公开(公告)日: | 2015-06-17 |
发明(设计)人: | 吴明驰 | 申请(专利权)人: | 比亚迪股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/04 | 分类号: | H01L33/04;H01L33/00 |
代理公司: | 无 | 代理人: | 无 |
地址: | 518118 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供了一种GaN基LED外延片,包括:衬底;形成在所述衬底上的缓冲层;形成在所述缓冲层上的N型GaN层;形成在所述N型GaN层上的发光层;形成在所述发光层上的P型GaN层;形成在所述P型GaN层上的第一超晶格接触层,所述第一超晶格接触层为InGaN/AlGaN超晶格结构。该GaN基LED外延片可降低P型GaN层的欧姆接触电阻,从而降低了LED芯片的电压。 | ||
搜索关键词: | 一种 gan led 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种GaN基LED外延片,其特征在于,包括:衬底;形成在所述衬底上的缓冲层;形成在所述缓冲层上的N型GaN层;形成在所述N型GaN层上的发光层;形成在所述发光层上的P型GaN层;形成在所述P型GaN 层上的第一超晶格接触层,所述第一超晶格接触层为InGaN/AlGaN超晶格结构。
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