[发明专利]一种真空镀膜生产线用传动机构在审
| 申请号： | 201310688579.0 | 申请日： | 2013-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN104711517A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;孙桂红;祝海生;黄乐;梁红;吴永光 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56;F16H49/00 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 411101 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜生产线用传动机构，其包括一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧，主动组件受电驱动，通过磁力耦合器将主动组件的运动传递给从动组件。与现有技术相比，该传动机构采用磁力耦合器连接主动轴和从动轴，主动轴和从动轴之间无直接接触，无机械传动，减少磨损，将动密封转换为静密封，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性，有效防止出现漏气现象产生，该传动机构结构简单，能耗减少，节约资源，使用方便，使用寿命延长，安全性提高因此其应用前景十分广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 生产线 传动 机构 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于，包括：一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，所述主动组件和所述从动组件分别设置在所述磁力耦合器的两侧，所述主动组件受电驱动，通过所述磁力耦合器使所述主动组件驱动所述从动组件运动。
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