[发明专利]一种确定金刚石研磨晶向的方法有效
申请号: | 201310672397.4 | 申请日: | 2013-12-12 |
公开(公告)号: | CN103616394A | 公开(公告)日: | 2014-03-05 |
发明(设计)人: | 杨宁;孙涛;宗文俊;李增强 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01N23/207 | 分类号: | G01N23/207;G01N21/84 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | 一种确定金刚石研磨晶向的方法,属于超精密机械加工技术领域。所述方法:(1)研磨单晶金刚石晶体得到一个研磨面,与需要研磨加工的晶面相交形成一条棱;(2)测定所得研磨面的晶面指数;(3)测定需要研磨加工表面的晶面指数;(4)测定需要加工的表面上因加工留下的沟槽与步骤(1)中的棱之间的夹角;(5)依据步骤(2)至步骤(4)所测数据经计算得到研磨方向的具体晶向指数或方向。本发明通过预先提供一个研磨面与需要研磨加工表面形成的一条棱作为参考晶向的办法,只需要对晶面晶向做初始的标定,就可以在后续的研磨加工中采用激光共聚焦显微镜测量出具体研磨方向的表征参数,不需要记录金刚石工件放置的空间位置和姿态,方便快捷。 | ||
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【主权项】:
一种确定金刚石研磨晶向的方法,其特征在于所述方法步骤如下:(1)研磨单晶金刚石晶体得到一个研磨面,要求该研磨面与需要研磨加工的晶面相交,形成一条棱;(2)测定步骤(1)中所得研磨面的晶面指数;(3)测定需要研磨加工表面的晶面指数;(4)测定需要加工的表面上因加工留下的沟槽与步骤(1)中的棱之间的夹角,所述沟槽的方向与研磨方向一致;(5)依据步骤(2)至步骤(4)所测数据经计算得到研磨方向的具体晶向指数或方向。
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