[发明专利]一种确定金刚石研磨晶向的方法

权利要求书

1.一种确定金刚石研磨晶向的方法，其特征在于所述方法步骤如下：

（1）研磨单晶金刚石晶体得到一个研磨面，要求该研磨面与需要研磨加工的晶面相交，形成一条棱；

（2）测定步骤（1）中所得研磨面的晶面指数；

（3）测定需要研磨加工表面的晶面指数；

（4）测定需要加工的表面上因加工留下的沟槽与步骤（1）中的棱之间的夹角，所述沟槽的方向与研磨方向一致；

（5）依据步骤（2）至步骤（4）所测数据经计算得到研磨方向的具体晶向指数或方向。

2.根据权利要求1所述的一种确定金刚石研磨晶向的方法，其特征在于所述步骤（5）中计算研磨方向的晶向指数或方向的方法如下：

设步骤（2）测得步骤（1）中所得研磨面的晶面指数为（h₁，k₁，l₁），步骤（3）测得需要研磨加工表面的晶面指数为（h₂，k₂，l₂），步骤（4）中测得的夹角为θ，研磨晶向的方向向量为（a，b，c），于是由向量（h₁，k₁，l₁）和（h₂，k₂，l₂）的叉积可以得到沿步骤（1）中的棱的向量为（k₁l₂-l₁k₂，l₁h₂-h₁l₂，h₁k₂-k₁h₂），依据向量（a，b，c）与向量（h₂，k₂，l₂）的点积为0和向量（a，b，c）与向量（k₁l₂-l₁k₂，l₁h₂-h₁l₂，h₁k₂-k₁h₂）的夹角为θ得到以下方程组：

 ；

带入步骤(2)-(4)测得数据，由以上方程组求得a，b和c的比值，从而得到研磨方向的具体晶向指数或方向。

3.根据权利要求1所述的一种确定金刚石研磨晶向的方法，其特征在于所述步骤（2）和（3）中用于测量金刚石研磨表面的晶面指数的设备为X射线晶体定向仪。

4.    根据权利要求1所述的一种确定金刚石研磨晶向的方法，其特征在于所述步骤（4）中测量夹角的方法为：在激光共聚焦显微镜下首先得到研磨加工后留下的沟槽与步骤（1）中的棱之间的夹角的图像，然后在该图像中测量得到夹角的角度。