[发明专利]微机电系统元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体在审
| 申请号： | 201310670469.1 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN103864002A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 松沢勇介;茅野祐治 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;G01C5/06 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供微机电系统（MEMS）元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体，该MEMS元件能够构成可对准确的微小压力进行测量的压力传感器。该MEMS元件具备基板、和被形成在所述基板的第一面上的多个谐振子，在所述基板上具备至少一个可挠部和至少一个非可挠部，所述谐振子与所述可挠部以及所述非可挠部对应地配置。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 元件 电子 装置 高度计 电子设备 移动 | ||
【主权项】：
一种微机电系统元件，其特征在于，具备：基板；多个谐振子，其被形成在所述基板的第一面上，在所述基板上具备至少一个可挠部和至少一个非可挠部，所述多个谐振子包括与所述可挠部对应的所述谐振子、和与所述非可挠部对应的所述谐振子。
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