[发明专利]微机电系统元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体

摘要

本发明提供一种MEMS元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体，其目的在于，获得一种如下的MEMS元件，其能够在基板上形成薄壁的隔膜，从而即使在低压力的情况下也能够发生变形，进而能够计测出准确的微小压力。MEMS元件具备：基板，其具有可挠部；固定电极，其被设置在所述基板的主面上；可动电极，其与所述固定电极分离，且具有可动部和固定端部，其中，所述可动部在俯视观察所述主面时至少一部分与所述固定电极重叠，并在与所述主面交叉的方向上进行驱动，所述固定端部与所述主面相连接，所述谐振子以与所述可挠部相对应的方式而被配置。

主权项

一种微机电系统元件，其特征在于，具备：基板，其具有可挠部；固定电极，其被设置在所述基板的主面上；可动电极，其与所述固定电极分离，且在俯视观察所述主面时至少一部分与所述固定电极重叠，并且所述可动电极具有可动部和固定端部，其中，所述可动部在与所述主面交叉的方向上进行驱动，所述固定端部与所述主面相连接，所述固定电极和所述可动电极以与所述可挠部相对应的方式而被配置。