[发明专利]微机电系统元件、电子装置、高度计、电子设备及移动体

权利要求书

1.一种微机电系统元件，其特征在于，具备：

基板，其具有可挠部；

固定电极，其被设置在所述基板的主面上；

可动电极，其与所述固定电极分离，且在俯视观察所述主面时至少一部分与所述固定电极重叠，并且所述可动电极具有可动部和固定端部，其中，所述可动部在与所述主面交叉的方向上进行驱动，所述固定端部与所述主面相连接，

所述固定电极和所述可动电极以与所述可挠部相对应的方式而被配置。

2.如权利要求1所述的微机电系统元件，其特征在于，

在俯视观察所述主面时，所述可挠部的形心位于所述固定电极与所述可动电极重叠的区域内。

3.如权利要求2所述的微机电系统元件，其特征在于，

在俯视观察所述主面时，所述可挠部与所述固定端部分离。

4.如权利要求1所述的微机电系统元件，其特征在于，

在俯视观察所述主面时，所述可挠部为多边形。

5.如权利要求1所述的微机电系统元件，其特征在于，

在俯视观察所述主面时，所述可挠部的平面形状为圆形。

6.如权利要求1所述的微机电系统元件，其特征在于，

所述可挠部为，被设在所述基板上的凹部的底部。

7.如权利要求1所述的微机电系统元件，其特征在于，

所述可挠部为，被设置在所述基板的与所述主面为表背关系的背面侧的凹部的底部。

8.如权利要求1所述的微机电系统元件，其特征在于，

所述基板具备包含所述主面的层，且所述层的内部应力为拉伸应力。

9.如权利要求1所述的微机电系统元件，其特征在于，

所述微机电系统元件包含半导体装置。

10.一种电子装置，其特征在于，具备：

权利要求1所述的微机电系统元件；

保持单元，其以使所述微机电系统元件的所述基板露出在压力变动区域中的方式，对所述微机电系统元件的所述基板进行保持，

在所述压力变动区域内露出有所述可挠部。

11.一种高度计，其特征在于，具备：

权利要求1所述的微机电系统元件；

保持单元，其以使所述微机电系统元件的所述基板露出在压力测量对象区域中并使所述可挠部露出在所述压力测量对象区域中的方式，对所述微机电系统元件的所述基板进行保持；

数据处理部，其对所述微机电系统元件的测量数据进行处理。

12.一种电子设备，其特征在于，

具备权利要求1所述的微机电系统元件、电子装置或高度计。

13.一种移动体，其特征在于，

具备权利要求1所述的微机电系统元件、电子装置、高度计或电子设备。