[发明专利]成膜装置

摘要

本发明提供一种成膜装置，其能够抑制因阀体而产生的按压力变得不均匀。本发明的成膜装置（100）具备：交叉管（32），沿阀体（9）的长边方向（D1）延伸而连接于阀体（9）；扭杆（31），一部分进入到交叉管（32）的内部；以及旋转驱动部（4），对扭杆（31）赋予旋转驱动力。并且，扭杆（31）在阀体（9）的长边方向（D1）的中央位置通过紧固部（34）紧固于交叉管（32）。因此，通过旋转驱动部（4）赋予给扭杆（31）的旋转驱动力经由该交叉管（31），在阀体（9）的长边方向（D1）上的中央位置被传递给交叉管（32）。因此，经由沿阀体（9）的长边方向（D1）延伸的交叉管（32），该旋转驱动力向长边方向(D1)的两侧均衡地传递给阀体（9）。

主权项

一种成膜装置，其使成膜材料的粒子附着于成膜对象物，该成膜装置具备：真空腔室，具有用于搬入或搬出所述成膜对象物的孔部；阀体，能够在关闭所述孔部的位置和不与经由所述孔部被搬入或搬出的所述成膜对象物干涉的位置之间移动，且沿长边方向延伸；管状部件，沿所述阀体的所述长边方向延伸而连接于所述阀体；棒状部件，至少一部分进入到所述管状部件的内部，在所述阀体的所述长边方向的中央位置紧固于所述管状部件；以及旋转驱动部，对所述棒状部件赋予旋转驱动力。