[发明专利]测量显微镜装置、图像产生方法、及计算机可读记录介质

摘要

本发明提供了测量显微镜装置、图像产生方法、测量显微镜装置操作程序、以及计算机可读记录介质。可以在不导致测量精度降低的情况下拍摄具有宽视野的图像。提供了镜台，其上放置对象；显示单元，其用于显示高度图像或观测图像；测量单元，其用于对高度图像执行测量；图像连接单元，其配置成通过移动镜台并拍摄不同区域，获取多个高度图像，并连接所获取的多个高度图像和观测图像以产生连接图像；测量错误区域显示单元，其配置成在对象的图像上叠加并显示测量错误区域；以及测量‑图像成像条件设置单元，其用于调节产生高度图像所需的条纹图像的成像条件，以减少测量错误区域。

主权项

一种测量显微镜装置，包括：镜台，其上放置对象；镜台驱动部分，其用于在XY方向上自动驱动所述镜台；控制单元，其用于驱动所述镜台驱动部分；第一测量光投射单元，其配置成从第一方向向对象照射第一测量光，所述单元是用于从倾斜方向向所述镜台上放置的所述对象投射作为预定图案结构化照明的测量光的测量光投射单元；观测照明光源，其用于在拍摄观测图像时产生照明光；成像单元，其用于获取所述第一测量光投射单元投射的并被所述对象反射的测量光，以拍摄多个条纹图像，并利用所述观测照明光源来拍摄具有纹理信息的观测图像；高度图像获取单元，其用于根据所述多个条纹图像来获取具有高度信息的高度图像；显示单元，其用于显示所述高度图像或所述观测图像；测量单元，其用于对所述显示单元上显示的所述高度图像执行测量；测量‑图像成像条件设置单元，其用于设置产生所述显示单元上显示的所述高度图像所需要的条纹图像的成像条件；图像连接单元，其配置成通过移动所述镜台并在所述测量‑图像成像条件设置单元设置的成像条件下借助所述成像单元拍摄包括连接边缘的不同的多个区域，获取多个用于连接的高度图像和多个用于连接的观测图像，并产生连接图像，其中，所述连接图像是对在每个区域所获取的多个用于连接的高度图像和多个用于连接的观测图像分别进行组合的多个三维合成图像进行连接而得到的；测量错误区域显示单元，其配置成在与所述图像连接单元将要连接的每个区域相对应的所述对象的高度图像、观测图像或合成图像上，叠加并显示其中高度的测量结果错误的测量错误区域；重新测量区域设置单元，其在所述测量错误区域被显示之后接受重新测量所述高度图像的区域的设置，其中所述测量‑图像成像条件设置单元接受对成像条件的调节，以便对所述重新测量区域设置单元设置的区域进行重新测量，所述控制单元通过所述镜台驱动部分使得所述镜台自动地移动到由所述重新测量区域设置单元设置的位置；所述图像连接单元利用在被调节的成像条件下获取的、所述重新测量区域设置单元设置的区域中的合成图像来产生所述连接图像；以及所述显示单元配置为能够显示产生的所述连接图像。