[发明专利]导电薄膜、其制备方法及应用在审
申请号: | 201310634797.6 | 申请日: | 2013-11-30 |
公开(公告)号: | CN104681131A | 公开(公告)日: | 2015-06-03 |
发明(设计)人: | 周明杰;陈吉星;王平;黄辉 | 申请(专利权)人: | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00;H01L51/52;H01L51/56;C23C14/35 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种导电薄膜,包括层叠的D2O3层,D导电层及V2O5层,其中,D2O3层为三氧化二铝,三氧化二镓或三氧化二铟,D导电层的材料为金属铝,金属镓或金属铟。上述导电薄膜通过在D2O3层的表面沉积,D导电层及高功函的V2O5层制备多层导电薄膜,D2O3层既作为缓冲层和匹配层,使导电薄膜的功函数得到了显著的提高并具有较高的透光性。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 | ||
搜索关键词: | 导电 薄膜 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
一种导电薄膜,其特征在于,包括层叠的D2O3层,D导电层及V2O5层,其中,D2O3层为三氧化二铝,三氧化二镓或三氧化二铟,D导电层的材料为金属铝,金属镓或金属铟。
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