[发明专利]光生电荷载流子的控制

摘要

本发明涉及光生电荷载流子的控制。描述并描绘了与光生电荷载流子的控制有关的实施例。一种制造设备的方法，所述方法包括：提供非均匀掺杂轮廓，以使得在光转换区域的至少部分中生成具有垂直场矢量分量的电场；在非均匀掺杂轮廓上方生成包括多个控制电极的控制电极结构用于引导光生电荷载流子。

主权项

1.一种制造设备的方法，所述方法包括：提供将光转换成光生电荷载流子的光转换区域，所述光转换区域具有在垂直方向上改变的净掺杂浓度，以使得所述光转换区域具有非均匀掺杂轮廓，所述非均匀掺杂轮廓具有布置在半导体衬底内一深度处的掺杂层处的局部最大净掺杂浓度，所述非均匀掺杂轮廓的净掺杂浓度在垂直方向上从所述深度朝向控制电极结构降低，使得光生电荷载流子被朝向控制电极结构引导，所述非均匀掺杂轮廓的净掺杂浓度在垂直方向上从所述深度随着远离控制电极结构而降低，使得光生电荷载流子被远离控制电极结构引导，并且所述非均匀掺杂轮廓的净掺杂浓度在所述光转换区域的至少部分中生成具有垂直场矢量分量的内建电场；提供累积光生电荷载流子的第一区域；提供累积光生电荷载流子的第二区域；以及在非均匀掺杂轮廓上方生成包括多个控制电极的控制电极结构，用于基于施加到控制电极结构的信号来将光生电荷载流子朝向累积光生电荷载流子的第一区域或者累积光生电荷载流子的第二区域导向。