[发明专利]抛光垫修整器结构及其制作方法

摘要

本发明提供一种抛光垫修整器结构及其制作方法，抛光垫修整器结构包含具有特定轴向的蓝宝石芯片本体及保护膜，蓝宝石芯片本体的上表面具有微结构，保护层覆盖该蓝宝石本体的上表面，微结构的高度误差小于平均高度的5％，该方法包含芯片单元形成步骤、影像转移步骤、热处理步骤及保护层形成步骤，芯片单元形成步骤形成特定轴向的蓝宝石芯片，影像转移步骤以半导体制程的影像转移方式形成微结构，得到蓝宝石芯片本体，热处理步骤减少晶格缺陷，保护层形成步骤在蓝宝石芯片本体上形成保护层，达到提升机械及化学的抗磨耗、抗蚀效果。

主权项

一种抛光垫修整器结构，其特征在于，包含：一蓝宝石芯片本体，为具有一特定轴向的芯片，且其上表面上具有多个微结构；以及一保护层，为一钻石膜或一类钻碳膜，覆盖该蓝宝石本体的上表面，其中该特定轴向为a轴向、c轴向、r轴向、m轴向、n轴向以及v轴向的其中之一，且所述微结构的高度误差小于一平均高度的5％。