[发明专利]具有低热噪声的压阻式转换器在审
| 申请号： | 201310588418.4 | 申请日： | 2013-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103837288A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | J-H.A.邱;X.丁;S-H.S.陈;J.弗里 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李涛;傅永霄 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及具有低热噪声的压阻式转换器。在膜片被定位成从管芯的中心偏置的MEMS压阻式压力转换器中，通过将惠斯通电桥电路定位成远离支承台座和管芯的最大区域，使在惠斯通电桥电路的输出中的热感生的热噪声得到降低。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 低热 噪声 压阻式 转换器 | ||
【主权项】：
一种压力转换器，包括：大致平行六面体形的管芯，其具有顶表面和底表面，并具有南侧面、北侧面、西侧面和东侧面，所述北侧面和南侧面彼此相对，并且所述东侧面和西侧面彼此相对；多个成一线的结合焊盘，其沿着所述南侧面形成到所述顶表面中；膜片，其形成到所述底表面中，并响应于流体的压力；惠斯通电桥，其包括形成到所述顶表面中的四个压电电阻器，所述四个压电电阻器定位成相邻于所述北侧面附近的膜片边缘。
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