[发明专利]基板保持装置以及研磨装置

摘要

提供一种基板保持装置，具有使保持基板的顶环（1）上下移动的上下移动机构（24）、检测通过上下移动机构（24）使顶环（1）下降时或者上升时的上下移动机构的扭矩的扭矩检测单元、以及控制部（40），所述控制部在垫检查时，预先将顶环（1）与研磨垫的表面接触时的所述上下移动机构（24）的扭矩设定为扭矩限制值，控制部（40）根据扭矩检测单元检测出的扭矩与预先设定的基准值算出扭矩补正量，采用该扭矩补正量对所述扭矩限制值进行补正。该基板保持装置检测上下地驱动顶环的机构的损失扭矩的经时变化量，采用该损失扭矩的经时变化量对作为垫检查时的基准的扭矩限制值进行补正，从而能够在垫检查时准确地把握研磨垫的表面的高度。

主权项

一种基板保持装置，对作为研磨对象物的基板进行保持并将该基板按压到研磨垫上，该基板保持装置的特征在于，该基板保持装置具有：顶环，所述顶环对基板进行保持，并将该基板按压到研磨垫上；上下移动机构，所述上下移动机构使所述顶环上下移动；扭矩检测单元，所述扭矩检测单元检测通过所述上下移动机构使所述顶环下降时或者上升时的上下移动机构的扭矩；以及控制部，所述控制部在使所述顶环下降而与所述研磨垫的表面接触的垫检查时，预先将顶环与研磨垫的表面接触时的所述上下移动机构的扭矩设定为扭矩限制值，所述控制部将在通过所述上下移动机构使所述顶环等速地升降时根据所述扭矩检测单元检测出的等速时平均扭矩求出的值预先设定为基准值，且在所述基准值设定后的所述顶环升降时，根据所述扭矩检测单元检测出的扭矩与预先设定的所述基准值算出扭矩补正量，采用该扭矩补正量对所述扭矩限制值进行补正。