[发明专利]一种双层绒面ZnO基薄膜的制备方法无效
| 申请号： | 201310568191.7 | 申请日： | 2013-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103572238A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 吕建国;江庆军;冯丽莎;袁禹亮;叶志镇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开的双层绒面ZnO基薄膜的制备方法，其步骤包括：按化学式Zn1-xMxO（M=Al、Ga、In、B或F，0 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双层 zno 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种双层绒面ZnO基薄膜的制备方法，该双层绒面ZnO基薄膜的化学式为Zn1‑xMxO ，M = Al、Ga、In、B或F，0
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310568191.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：血管迷走性晕厥治疗仪
- 下一篇：一种钉扣机与套结机的切换结构
- 同类专利
- 专利分类
