[发明专利]与FIB和/或电子显微镜一起使用的双激光束系统有效
| 申请号： | 201310564270.0 | 申请日： | 2013-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN103817434A | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | K.布鲁兰德 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蒋骏;胡莉莉 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明披露了一种用于使用两个分离开的具有不同特征的激光束对各种材料进行加工和成像的电子显微镜和FIB系统。第一激光束用于工件的大块材料清除和深沟槽蚀刻。第二激光束用于更精细的精密作业，如工件的微机械加工、小光点加工、或小热影响区的产生。该第一激光束和该第二激光束可以来自同一激光源或来自分离开的激光源。具有一个激光源具有使系统更加便宜和能够创建分离开的外部和内部台的附加益处，从而使得从第一激光束的大块材料清除中生成的碎片将不干扰粒子束室内的真空或组件。 | ||
| 搜索关键词： | fib 电子显微镜 一起 使用 激光束 系统 | ||
【主权项】：
一种用于用带电粒子束和激光束两者对工件进行加工的系统，该系统包括：第一工作台，其包括真空室用于对该真空室内所支持的第一工件进行加工；第二工作台，用于对真空室外的第二工件进行加工；产生源输出激光束的激光源；光学系统，其被配置成用于将该源输出激光束分成至少第一激光束和第二激光束以及将该第一激光束传递到该真空室内的该第一工件并且将该第二激光束传递到该真空室外的该第二工件；以及粒子束源，用于对该真空室内的该第二工件进行加工。
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