[发明专利]固态图像传感器、制造固态图像传感器的方法及相机有效

专利信息
申请号: 201310557942.5 申请日: 2013-11-12
公开(公告)号: CN103811508A 公开(公告)日: 2014-05-21
发明(设计)人: 曾田岳彦 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 魏小薇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种固态图像传感器、制造固态图像传感器的方法及相机。该固态图像传感器包括:具有第一面和第二面的半导体层以及被布置在第一面那一侧的布线结构,其中,光电转换器被布置在半导体层中并且光入射在第二面上。布线结构包括:反射部分,具有反射区域并且被布置用于光电转换器中的至少一些;吸收部分,被布置在反射区域周围;绝缘体部分,被布置为围绕吸收部分;以及层间绝缘膜,被布置在第一面与反射部分、光吸收部分和绝缘体部分的群组之间,以及光吸收部分的反射率小于反射区域的反射率,光吸收部分的光透射率小于绝缘体部分的光透射率。
搜索关键词: 固态 图像传感器 制造 方法 相机
【主权项】:
一种固态图像传感器,包括:半导体层,具有第一面和第二面;以及布线结构,被布置在第一面那一侧,其中,多个光电转换器被布置在半导体层中,其中,来自物体的光入射在第二面上,其中,布线结构包括:多个反射部分,被布置用于所述多个光电转换器中的至少一些光电转换器,所述多个反射部分中的每一个都具有反射区域;多个光吸收部分,其中的每一个被布置在所述多个反射部分中的对应一个反射部分的反射区域周围;绝缘体部分,被布置为围绕所述多个光吸收部分中的每一个;层间绝缘膜,被布置在第一面与所述多个反射部分、所述多个光吸收部分和所述绝缘体部分的群组之间,以及其中,所述多个光吸收部分中的每一个的反射率小于所述多个反射部分中的对应一个反射部分的反射区域的反射率,并且所述多个光吸收部分中的每一个的光透射率小于所述绝缘体部分的光透射率。
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