[发明专利]一种新型热塑性压印胶及其合成与应用方法有效
| 申请号： | 201310544557.7 | 申请日： | 2013-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN103631088A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 顾荣华 | 申请（专利权）人： | 无锡英普林纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 214192 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 发明属于纳米压印技术领域，具体公开了一种新型热塑性压印胶及其合成与应用方法。首先通过溶液聚合制备聚甲基丙烯酸异冰片酯，净化处理后配成0.5wt%的热压胶；然后用不同结构的硅模板进行热纳米压印，得到与硅模板结构相反的图形；通过氧气等离子体刻蚀去除压印胶残余层，暴露出衬底表面，利用电子束蒸发镀膜沉积金属材料；将样品放入甲苯中超声，得到与模板结构相同的金属图形。本发明的压印胶玻璃化转变温度较低，所需的压印温度较低（120℃）；并且易于溶解在有机溶剂中，非常方便进行进一步的举离工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 塑性 压印 及其 合成 应用 方法 | ||
【主权项】：
一种新型热塑性压印胶，其特征在于，该热塑性压印胶的材料为聚甲基丙烯酸异冰片酯，其分子量Mn≈100000，玻璃化转变温度Tg=90℃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡英普林纳米科技有限公司，未经无锡英普林纳米科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310544557.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种一次性扩宫棒
- 下一篇：一种端子凡士林加热设备
