[发明专利]批处理式基板处理装置

摘要

公开一种批处理式基板处理装置。本发明的一实施方式的批处理式基板处理装置（100），具备以上下层叠方式加载多个基板（10）的晶舟（200），其特征在于，包括环状支架（ring holder；300），支撑基板（10）的底部，以载置基板（10）；支撑杆（260），从晶舟（200）的垂直支架（220、240）突出配置，支撑环状支架（300）的底部，以载置环状支架（300）；末端执行器（end effector；400），从环状支架（300）的外周面的外侧沿着与环状支架（300）同一平面上的空间进入晶舟（200），支撑基板（10）的底部并以托底（bottom‑lift）方式将基板（10）加载至晶舟（200）或从晶舟（200）卸载。

主权项

一种批处理式基板处理装置，具备以上下层叠方式加载多个基板的晶舟，其特征在于，包括：环状支架，用于支撑基板的底部，以载置基板；支撑杆，从晶舟的垂直支架突出配置，用于支撑环状支架的底部，以载置环状支架；末端执行器，从环状支架的外周面的外侧沿着与环状支架同一平面上的空间进入晶舟，支撑基板的底部并以托底方式将基板加载至晶舟或从晶舟卸载,环状支架的直径为基板的直径的0.6倍至0.8倍。