[发明专利]一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置

摘要

本发明公开一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，包括有依次连接的上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统和传动机构；所述镀膜区由多个镀膜室组成，每个镀膜室内设有多个间隔板，通过间隔板在镀膜室内形成多个镀膜腔、通过间隔板于镀膜室内两端镀膜腔的外侧分别形成第一排气腔和第二排气腔；在同一镀膜室内第一排气腔或第二排气腔的外侧形成隔离腔；每个镀膜腔设有两个靶极和等离子体光谱检测装置。所述间隔板上与靶极对应侧对称设有两个水冷结构的“L”型调节挡板；并在两个“L”型调节挡板折弯处设有进气管，且两个进气管的进气方向相反。本发明涂层均匀、理化性能好、寿命长，生产效率，生产成本低，不会产生污染。

主权项

一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：主要包括有依次连接的上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统和传动机构；所述镀膜区由多个镀膜室组成，每个镀膜室内设有多个间隔板，通过间隔板在镀膜室内形成多个镀膜腔20、通过间隔板于镀膜室内两端镀膜腔20的外侧分别形成第一排气腔171和第二排气腔172；在同一镀膜室内第一排气腔171或第二排气腔172的外侧形成隔离腔18；所述镀膜腔20设有两个靶极24和等离子体光谱检测装置38；所述间隔板中间设有供太阳能集热板整板芯片通过的夹缝通道；所述镀膜腔的两个间隔板上对应靶极侧分别对称设置有水冷结构的“L”型调节挡板，并在两个“L”型调节挡板弯角处设置有进气管；两个“L”型调节挡板及进气管与镀膜室壁绝缘连接；并且两个进气管的进气口反向设置；所述进气管管壁上与“L”型调节挡板弯角处对应侧设有多个散气孔；工作气体通过散气孔喷射到“L”型调节挡板上，经“L”型调节挡板反射后扩散到镀膜腔内。