[发明专利]一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置

权利要求书

1.一种卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：主要包括有依次连接的上片台、防尘加热室、进片区、镀膜区、出片区、下片台、抽空系统和传动机构；

所述镀膜区由多个镀膜室组成，每个镀膜室内设有多个间隔板，通过间隔板在镀膜室内形成多个镀膜腔20、通过间隔板于镀膜室内两端镀膜腔20的外侧分别形成第一排气腔171和第二排气腔172；在同一镀膜室内第一排气腔171或第二排气腔172的外侧形成隔离腔18；

所述镀膜腔20设有两个靶极24和等离子体光谱检测装置38；

所述间隔板中间设有供太阳能集热板整板芯片通过的夹缝通道；

所述镀膜腔的两个间隔板上对应靶极侧分别对称设置有水冷结构的“L”型调节挡板，并在两个“L”型调节挡板弯角处设置有进气管；两个“L”型调节挡板及进气管与镀膜室壁绝缘连接；并且两个进气管的进气口反向设置；

所述进气管管壁上与“L”型调节挡板弯角处对应侧设有多个散气孔；工作气体通过散气孔喷射到“L”型调节挡板上，经“L”型调节挡板反射后扩散到镀膜腔内。

2.按权利要求1所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

所述防尘加热室内设有多个加热源，所述多个加热源呈矩阵式分布，每个加热源具有独立的测温传感器和温度控制回路，采用PID控制器来控制加热源启/停。

3.按权利要求1所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

所述太阳能集热板整板芯片是：先将集热板或集热翼片与排管焊接，再与上、下集管焊接成待镀膜的吸热板；整板芯片规格：长度为50cm～360cm；宽度为50cm～250cm。

4.按权利要求1所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

所述进气管为圆形管或者异形管。

5.按权利要求1所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

所述进气管末端为自由调整端，可以改变散气孔与“L”型调节挡板的对应角度。

6.按权利要求2所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

所述加热源采用远红外加热管。

7.按权利要求1所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

所述太阳能集热整板芯片的膜层由内向外依次为：高反射率的金属层、金属粒子体积比较高的吸收层及金属体积比较低的吸收层、减反射层以及耐候性保护层。

8.按权利要求1所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

所述的进片区设有离子源表面活化装置。

9.按权利要求8所述的卧式生产太阳能集热板的镀膜装置，其特征在于：

镀膜装置生产的膜层厚度为小于200nm，金属层厚度为15～25nm的铝或铜层，金属粒子体积比较高的和金属体积比较低的吸收层为AIN复合膜，吸收层厚度为50～100nm，减发射层为AIN，耐候性保护层为SiO₂，减反射层和保护层的厚度为50～70nm。