[发明专利]基于多能场耦合的复合式阳极键合系统及方法有效
| 申请号： | 201310521260.9 | 申请日： | 2013-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN103523746A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 潘明强;孙立宁;王阳俊;刘吉柱;陈涛;陈立国;汝长海;王振华 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于多能场耦合的复合式阳极键合系统及方法，该系统包括工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极分别用于放置玻璃器件和硅器件；电源模块，两端分别与第一电极和第二电极电性连接；电磁感应加热装置，设置于第二电极下方，用于对放电预处理和阳极键合进行电磁强化；驱动装置，连接在第一电极上，用于驱动第一电极上下运动。本发明整体结构简单，易于集成；电磁感应加热、预处理放电和阳极键合三者一体化控制三者一体化控制，调控简单；整套复合键合工艺易于实现，参数易于调节，键合性能可控性好。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 多能 耦合 复合 阳极 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于多能场耦合的复合式阳极键合系统，其特征在于，所述系统包括：工作台，工作台包括平行设置的第一电极和第二电极，第一电极和第二电极分别用于放置玻璃器件和硅器件；电源模块，两端分别与第一电极和第二电极电性连接；电磁感应加热装置，设置于第二电极下方，用于对放电预处理和阳极键合进行电磁强化；驱动装置，连接在第一电极上，用于驱动第一电极上下运动。
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