[发明专利]采用浮动电势介电泳规模化装配制造ZnO基纳米器件的方法

摘要

种采用浮动电势介电泳规模化装配制造ZnO基纳米器件的方法属纳米操作领域。按照如下步骤进行：（1）制备分散混合溶液；（2）采用超声波辅助分散；（3）浮动电势介电泳装配ZnO纳米线：将电场所需的交变电压信号通过探针分别施加在浮动电势微电极芯片的源极和背栅极，采用微量移液器取1~2mL分散后的上述氧化锌纳米线样品溶液，滴定到浮动电势微电极；对该电极施加正弦交流信号，其频率为1~2MHz，峰峰值电压为8~10Vp-p，浮动电势介电泳持续时间为3~8s；（4）后处理：将浮动电势介电泳过的电极芯片在去离子水中进行漂洗，真空干燥箱105℃加热30min，退火得到ZnO基纳米器件。本发明采用浮动电势介电泳技术，解决了ZnO基纳米器件有效装配效率低、难于规模化装配的难题。

主权项

一种采用浮动电势介电泳规模化装配制造ZnO基纳米器件的方法，其特征在于按照如下步骤进行：（1）制备分散混合溶液：将ZnO纳米线与纯度为99.9%以上的酒精混合，酒精与ZnO纳米线的质量比为（1000～1100）：1；（2）采用超声波辅助分散：将ZnO纳米线与酒精混合溶液放入试管中，并放入超声波振荡器中在30~45℃超声10~15分钟，而后取出静止1小时后得到均匀半透明溶液；（3）浮动电势介电泳装配ZnO纳米线：将电场所需的交变电压信号通过探针分别施加在浮动电势微电极芯片的源极和背栅极，采用微量移液器取1~2μL分散后的上述氧化锌纳米线样品溶液，滴定到浮动电势微电极；对该电极施加正弦交流信号，其频率为1~2MHz，峰峰值电压为8~10Vp‑p，浮动电势介电泳持续时间为3~8s；（4）后处理：将浮动电势介电泳过的电极芯片在去离子水中进行漂洗，漂洗时间约为15~20s；然后把电极芯片放到真空干燥箱里加热到105℃，时间为30min，进行退火处理；得到ZnO基纳米器件。