[发明专利]滤波器及其制造方法有效
| 申请号： | 201310514230.5 | 申请日： | 2013-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN103701425B | 公开（公告）日： | 2017-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张浩;张孟伦;庞慰;张代化 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/01 | 分类号： | H03H7/01;H03H3/007 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 | 代理人： | 章社杲,孙征 |
| 地址： | 300462 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种滤波器及其制造方法，其中，该滤波器包括串联谐振器和并联谐振器，至少一个串联谐振器包括质量负载，并且至少一个并联谐振器包括质量负载；其中，串联谐振器的质量负载的材料不同于并联谐振器的质量负载的材料。本发明通过使串联谐振器的质量负载的材料不同于并联谐振器的质量负载的材料，能够使M值基本不受覆盖层厚度影响，从而控制整个晶圆上的M值的变化幅度，进而提高滤波器的生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种滤波器，其中，所述滤波器包括串联谐振器和并联谐振器，其特征在于，至少一个串联谐振器包括质量负载，并且至少一个并联谐振器包括质量负载；其中，所述串联谐振器的质量负载的材料不同于所述并联谐振器的质量负载的材料；其中，所述串联谐振器的质量负载由第一材料制成，所述并联谐振器的质量负载由第二材料制成，在所述第一材料和第二材料的声阻抗均大于等于预定值的情况下，所述第一材料的声阻抗大于所述第二材料的声阻抗，在所述第一材料和第二材料的声阻抗均小于所述预定值的情况下，所述第一材料的声阻抗小于所述第二材料的声阻抗。
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