[发明专利]衬底清洗装置及衬底清洗方法在审
| 申请号： | 201310506970.4 | 申请日： | 2013-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN103769376A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 前田幸次;矶部壮一;下元博;田中英明 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B3/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 陈伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种衬底清洗装置及衬底清洗方法，能够迅速地检测用于测定滚动载荷的测力传感器在衬底清洗时发生故障的情况，能够防止在从滚动清洗部件对衬底施加异常滚动载荷的状态下继续清洗的情况。该衬底清洗装置具有：滚动架，其支承长尺寸状地水平延伸的滚动清洗部件并使其旋转；升降机构，其随着具有控制设备的致动器的驱动，在清洗衬底时以使滚动清洗部件对衬底施加规定的滚动载荷的方式使滚动架升降；测力传感器，其测定滚动载荷；控制部，其基于测力传感器的测定值而经由控制设备对滚动载荷进行反馈控制；和监控部，其对控制设备的操作量是否偏离预先设定的与设定滚动载荷相应的操作量基准值的允许范围进行监视。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种衬底清洗装置，其特征在于，具有：滚动架，其支承长尺寸状地水平延伸的滚动清洗部件并使该滚动清洗部件旋转；升降机构，其随着具有控制设备的致动器的驱动，在清洗衬底时以使所述滚动清洗部件对衬底施加滚动载荷的方式使所述滚动架升降；测力传感器，其测定所述滚动载荷；控制部，其基于所述测力传感器的测定值而经由所述控制设备对所述滚动载荷进行反馈控制；和监控部，其对所述控制设备的操作量是否偏离预先设定的与设定滚动载荷相应的操作量基准值的允许范围进行监视。
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