[发明专利]一种SAW器件的腐蚀工艺

摘要

本发明涉及一种SAW器件的腐蚀工艺，特征是，包括以下工艺步骤：（1）用等离子去胶机将光刻显影后的SAW器件光刻区域的底膜扫除；（2）将扫胶后的SAW器件在120℃～150℃条件下坚膜；（3）腐蚀：将磷酸和冰乙酸混合均匀，得到腐蚀液；将坚膜后的SAW器件浸入腐蚀液中；（4）腐蚀后的SAW器件冲洗后甩干；（5）去胶：分别向三个容器中倒入丙酮，第四个容器中倒入无水乙醇；将SAW器件依次过三次丙酮和一次无水乙醇；冲洗后甩干；（6）在干燥的容器中倒入发烟硝酸，用干净、干燥的镊子一片一片夹取SAW器件放入容器中过发烟硝酸，过完发烟硝酸后，将SAW器件在花篮中用去离子水冲水后甩干。本发明提升了工作效率并降低了成本，工艺步骤简单、安全，去胶效果提高。

主权项

 一种SAW器件的腐蚀工艺，其特征是，包括以下工艺步骤：（1）扫胶：用等离子去胶机将光刻显影后的SAW器件上光刻区域的底膜扫除，先抽真空至5±0.5Pa，通氧气至真空度为4±1×102Pa，功率为2400±500W，时间为60±10秒；（2）坚膜：将扫胶后的SAW器件在120℃～150℃条件下坚膜30～120分钟；坚膜后冷却至室温；（3）腐蚀：将磷酸和冰乙酸按体积比5±0.5:1混合均匀，水浴加热至45±1℃，恒温25～35分钟，得到腐蚀液；将坚膜后的SAW器件浸入腐蚀液中，腐蚀时间为200～300秒；（4）腐蚀后的SAW器件用去离子水冲洗480±30秒后于离心式甩干机中吹氮气甩干，离心式甩干机的转速为1200±100转/秒，甩干时间为120±10秒，氮气的压力为0.47±0.05kg/cm2； （5）去胶：分别向三个容器中倒入丙酮，第四个容器中倒入无水乙醇；用镊子夹取SAW器件依次过三次丙酮和一次无水乙醇，每次过3～5秒；接着将过完丙酮和无水乙醇的SAW器件用去离子水冲洗480±30秒，再在离心式甩干机中吹氮甩干120±10秒，离心式甩干机的转速为1200±500转/秒，氮气的压力为0.47±0.05kg/cm2；（6）去残胶：在干燥的容器中倒入发烟硝酸，用干净、干燥的镊子一片一片夹取SAW器件放入容器中过2～3秒发烟硝酸，过完发烟硝酸后，将SAW器件在花篮中用去离子水冲水480±30秒后甩干。