[发明专利]粉末沉积装置和粉末沉积方法无效
| 申请号： | 201310498697.5 | 申请日： | 2013-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN103834920A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 须藤业;香取健二;本村勇人 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 梁兴龙;陈桂香 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种能够有效地在粉末上进行沉积的粉末沉积装置和粉末沉积方法。所述粉末沉积装置包括设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；设置在所述鼓形转动体内部的沉积源；筒状粉末供给/回收部件，它邻近所述鼓形转动体的内壁设置，并且被构造成回收通过上面进入的粉末和通过下面将粉末供给到所述内壁；以及盖部件，它设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近，并且被构造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件内的粉末。 | ||
| 搜索关键词： | 粉末 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种粉末沉积装置，包括：设置在真空容器内并且被构造成在垂直方向上转动的鼓形转动体；设置在所述鼓形转动体内部的沉积源；筒状粉末供给/回收部件，它邻近所述鼓形转动体的内壁设置，并且被构造成回收通过上面进入的粉末和通过下面将粉末供给到所述内壁；以及盖部件，它设置在所述粉末供给/回收部件的下面的附近，并且被构造成在处于打开状态时通过粉末供给/回收部件的下面将粉末供给到所述内壁和在处于关闭状态时积聚通过上面进入所述粉末供给/回收部件内的粉末。
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